В книге рассмотрены физические параметры поверхности полупроводников и методы их определения. Большое внимание уделено обработки поверхности и происходящим при этом процессам, влиянию обработки поверхностей в пазовой фазе на свойства полупроводниковых приборов и методам защиты поверхности, связанным с созданием стабильных характеристик германиевых и кремниевых приборов - одной из наиболее актуальных проблем современной полупроводниковой техники. Тираж 7 тысяч экз.