Уважаемые покупатели! В настоящий момент мы находимся в отпуске и не можем быстро обрабатывать Ваши заказы. Все поступившие заказы будут обработаны после 1 декабря. Приносим извинения за доставленные неудобства.

Поиск

Категории

Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов.

ID
40648
Автор
Пресс Ф.П.
Год издания
1968
Издательство
Энергия
Страниц
200с., ил.
Переплёт
твёрдый
Формат
обычный

 Нет в наличии

В книге рассматриваются принципы одного из важнейших современных методов производства полупроводниковых приборов - фотолитографии. Фотолитография определяет в настоящее время уровень развития полупроводниковой электроники, позволяя создавать приборы с размерами рабочих областей менее 1 мкм. Описаны свойства кислотостойких и и светочувствительных составов - фоторезисторов, способы изготовления особо точных фотошаблонов, технологические приемы фотолитографии. Расмотрены перспективы развития фотолитографии. Тираж 8 тысяч экз.

НаучКнига.
Сайт основан на движке Inozem
Служебный вход© НаучКнига 2015-2017
Страница сгенерирована за 0.19с.