Поиск

Категории

Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов.

ID
40648
Автор
Пресс Ф.П.
Год издания
1968
Издательство
Энергия
Страниц
200с., ил.
Переплёт
твёрдый
Формат
обычный
Состояние
удовлетворительное, потертости, небольшие надрывы корешка, списана из библиотеки, библиотечный кармашек

 Есть в наличии

Старая цена: 200 рублей
130 рублей

В книге рассматриваются принципы одного из важнейших современных методов производства полупроводниковых приборов - фотолитографии. Фотолитография определяет в настоящее время уровень развития полупроводниковой электроники, позволяя создавать приборы с размерами рабочих областей менее 1 мкм. Описаны свойства кислотостойких и и светочувствительных составов - фоторезисторов, способы изготовления особо точных фотошаблонов, технологические приемы фотолитографии. Расмотрены перспективы развития фотолитографии. Тираж 8 тысяч экз.

НаучКнига.
Сайт основан на движке Inozem
Служебный вход© НаучКнига 2015-2017
Страница сгенерирована за 1.31с.