В книге излагаются основные физические представления о механизме самодиффузии и диффузии примесей в полупроводниках, а также дается обзор имеющихся экспериментальных данных. Специальные главы посвящены математическому анализу диффузионных задач и описанию экспериментальных методов измерения коэффициентов диффузии в полупроводниках. В последней главе кратко рассматриваются вопросы растворимости примесей в полупроводниках и распада пересыщенных твердых растворов.